, , , , , . , / , , .
, , . - . , . , , , 1-3 .
PVD (Physical Vapour
Deposition) <1 200 ( 7.1).
7.1 - PVD-: 1- , 2- , 3- , 4- , 5- , 6- , 7- (/ ) , , 8- , 9- , 10- ( , , , , .), 11- , 12- ( , , .), 13- , 14- , 15-
: , , , . , .
( ), , , .
. 20 - 20 ( ). , Ni-Fe, 500-1000 , , Co Co-Cr, 100-500 . 30-50 .
|
|
, -. . . . , .
, , , 20 ; 500 , . ( 20 ) (, N) .
. TiN - , , . . , . - , , , , , . , . , , . : , , , .
ZrN - , , . , TiN, (, .) , , . . - , , , .
CrN - , . , TiN, . CrN , Al, Cu, Ti . , . - CrN, , Cr2N, . : , .
|
|
Hf3N4 - , , , . . . , , . .
Cr3C2 - , , , , . .
TiC - , , TiN. , , 2772 , .
ZrC - , , ZrN, , ; . : .
Cr3C2, TiC, ZrC . .
. ( ), . , , , .
TiCN - , TiN. , , , , . : , , . , , , .
TiAlN - 90- . , . ( 800 ) , . , . , , , . .
Ti Al. , , . . : , , .
|
|
TiZrN - , , , Ti Zr . TiZrN - 32.2 6-10 % Zr, TiN 22 %.
(Ti-ZrN Ti Zr, 64 .
, , . 30 121810 6 TiZrN 8-16 % Zr. , (Ti-ZrN , . 25-35 % 20-25 % 30 121810 . , , TiN 5 , TiZrN Ti-ZrN 8 6,25 .
, , .., TiN .
TiMoN - , , , . , . TiMoN 47-53 25-62 % Mo.
10-37 % Mo, , .., TiN .
, .
ZrMoN - , , , . ZrMoN 44-46 25-36 % Mo.
10-25 % Mo.
, .
TiCrN - , TiN CrN. . , TiCrN 6.
, TiCrN .
6 TiCrN. 77 20 . , 77 (80 % Ti 20 % Cr), 20 (25 % Ti 75 % Cr).
|
|
, , TiCrN . -.
, , , (85 % Ti 15 % Cr). , .
:
, .
1,5-4 .
, .
, , . .
, , .
. , .
.
- . . 1,5 , , , , . , , . , , , , .
. , , , CrN - 20 , TiN - 24 , TiCrN - 22 , TiN- CrN 29 . , TiN-TiCN-TiN TiAlN-CrN , , . , " " .
, . , TiCrAlN 24 , TiAlN-CrN 15 6 35 . , , . , . . . TiAlN CrN 3,8 TiAlN Cr.
|
|
. .
, , " ", .. , , , - .
8
. .
- . . - - . . 1 , . . . . , , , - .
, , . - ( 100 ) . , , , , , , , ..
1 , 40 . /. , . ( , ..) - .
, . .. ; , - .
, , , . , , , , . . 40 , , , . , 1 10 . , . - , , ..
. , , , , .
( ) . , , .
, GaAs ( , 250 , 200 ) .
, , - - , - .